| No. | Nama | Jabatan Dinas | Masa Bakti |
| 1 | CH. RONI | ex Brigade 17 | 1961 – 1963 |
| 2 | A. WINDU | Kepala Bea Cukai Jawa Tengah | 1963 – 1966 |
| 3 | AKBP. R. SOEKAMTO MANGKUDIHARDJO | Kadapol Jawa Tengah / Kapolda | 1966 – 1967 |
| 4 | AKBP. R. SOEKAMTO MANGKUDIHARDJO | Kadapol Jawa Tengah / Kapolda | 1967 – 1968 |
| 5 | Letkol. AD. ROMO Dr. HARSO SOESANTO | Anggota DPRD GR Jawa Tengah | 1968 – 1969 |
| 6 | KRT. SINDOENG HARSOYO | Kepala Biro Pusat Statistik Jawa Tengah | 1969 – 1971 |
| 7 | Kolonel ROBERTUS SABIKIS | Komandan Kologdam VII/Diponegoro | 1971 – 1976 |
| 8 | Kolonel ROBERTUS SABIKIS | Komandan Kologdam VII/Diponegoro | 1976 – 1979 |
| 9 | Kolonel PRAMOE SOETOMO | Komandan Kologdam VII/Diponegoro | 1979 – 1987 |
| 10 | Drs. MOCH NASROEN MULYOHADI WINOTO | Ka Kanwil Pendidikan Jawa Tengah | 1987 – 1996 |
| 11 | Drs. ROESTOPO | Dosen UNNES | (YMT) 1996 – 1998 |
| 12 | Drs. HARTONO | Wakil Gubernur II | 1998 – 1999 |
| 13 | Ir. MULYADI WIDODO, MT | Wakil Gubernur III | 1999 – 2008 |
| 14 | Prof. Dr. Ir. S. BUDI PRAYITNO, M.Sc. | Ka BAPPEDA Provinsi Jawa Tengah | 2008 – 2013 |
| 15 | Prof. Dr. Ir. S. BUDI PRAYITNO, M.Sc. | Dosen UNDIP (Universitas Diponegoro) | 2013 – 2018 |
| 16 | SITI ATIKOH SUPRIANTI, STP, MT, MPP. | Ketua TP PKK Jawa Tengah | 2018 – 2023 |
| 17 | Prof. Dr. Ir. S. BUDI PRAYITNO, M.Sc. | Guru Besar FPIK Universitas Diponegoro | 2023 – 2028 |